2023/07/02
— SEMICON CHINA 2023 —
2023年6月29日,全球最大规模半导体年度盛会SEMICON CHINA在上海新国际博览中心召开。泓浒半导体携全国产化晶圆传输设备和整体解决方案重装亮相。
— 技术突破,国产领先 —
泓浒现场展出的晶圆传输设备(Sorter/EFEM),控制技术和关键部件均为自主研发,实现了全面国产化。设备配置了晶圆搬运机器人(ROBOT)、全自动装载系统(Load port)、SMIF,翻转机构,以及带视觉OCR功能的全自动巡边对准器(PA)。通过泓浒专利的多规格晶圆传送解决方案,设备不仅可兼容4/6/8/12各尺寸,实现常规硅基晶圆快速切换,还可以通过持续深度学习,精确识别非硅基材料晶圆。泓浒设备已经大量运用在硅基集成电路制造和SiC、GaN等化合物半导体领域。
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本篇文章来源于微信公众号: 泓浒半导体
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