多功能定制

适用于各种布局(2~10个负载端口)
200/300mm晶圆分拣机功能
根据客户要求定制软件和功能

快速交货

标准产品新货供应
本地制造商配合,快速交货

售后服务快速响应

本地技术和服务团队快速响应

HHWS-2LP1T-11

HHWS-2LP-12W

HHWS-3LP-11

HHWS-8LP

HHWS-2LP1T-11

产品图片

分拣机图纸

左视图

右视图

俯视图

主视图

规格

清洁度 Class 1
机器人 型号 Hirata AR-Wn180CL-4-T-330-2-x424
重复性 ±0.1mm
调整器 型号 Hirata KWA-12-E-A064
校准时间 小于3.5秒
加工精度 X轴/Y轴 ±0.05 mm
W轴 ±0.03度
装载端口 Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R(旋转)
翻转 HHTV
可选 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器
直通 280WPH(带OCR)
重量 650 公斤