多功能定制

适用于各种布局(2~10个负载端口)
200/300mm晶圆分拣机功能
根据客户要求定制软件和功能

快速交货

标准产品新货供应
本地制造商配合,快速交货

售后服务

本地技术和服务团队快速响应

HHWS-2LP1T-11

HHWS-2LP-12W

HHWS-3LP-11

HHWS-8LP

HHWS-2LP1T-11

Product Image

Sorter Drawing

左视图

右视图

俯视图

主视图

Specification

Cleanness Class 1
Robot Model Hirata AR-Wn180CL-4-T-330-2-x424
Repeatability ±0.1mm
Aligner Model Hirata KWA-12-E-A064
Alignment time less than 3.5 sec
Processing precision X-/Y-axis ±0.05 mm
W-axis ±0.03 deg
Load port Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R(Rotation)
Turn over HHTV
Option Wafer ID Reader/Robot Auto teaching Function/Load Port Cassette RFID Reader
Through put 280WPH(with OCR)
Weight 650 kg