技术优势

高真空度、低漏率、高安全性
严谨完整的
槽阀/工艺模块/机器人
硬件互锁设计
通过Semi S2安全认证
规格参数对标国际一线品牌

多功能定制

支持100/150/200/300mm晶圆传送功能
根据客户要求定制软件和功能

售后服务

本地技术和服务团队快速响应

VTM300-HH600

VTM300-HH600

产品图片

真空传输模块VTM 图纸

左视图

右视图

俯视图

主视图

规格

基本信息 电源 AC 220V 50Hz 1500W
CDA 0.3-0.7MPa
传送平面 1100mm
晶圆尺寸 300mm 200mm 150mm 100mm
清洁度 Class 1
真空度 5 x 10(−8) Torr
渗漏率 <1 x 10(−9)std.cc/秒  He
机器人 模型 HHVRD32
活动范围 R轴 1050mm
Z轴 50mm 100mm 150mm
最高传输速度 1000mm/秒
重复性 R轴、Z轴 ± 0.05mm
T轴 0.005°
VPA 校准精度 旋转对齐重复性 0.3° (3σ) 
定心重复性 0.05mm
初始捕获范围 +3.99mm
校准周期 3.5-4.7秒
VCE 主要特性 叠片或斜板的检测
磁带映射周期 20秒