半导体精密组件

替换零件

提供完美的替换零件以及系统升级

严选品质

选料严格,延长使用寿命,减少颗粒影响

高效操作

简易安装,减少维护工作量,缩短停工时间

石墨

Other parts

Other Parts

SIC

石英

6“~12” Disk,Edge ring,base ring,tube,quartz ring 等备件

陶瓷

O-ring

材质分类:全氟化橡胶(FFKM)、氟素橡胶(FKM)、硅橡胶(SIL)、氟硅橡胶(FSI)等

门板

复合材料密封件

6”~12”,PEEK、垫片、复合材料、金属制品、硅等各类备件