替换零件
提供完美的替换零件以及系统升级
严选品质
选料严格，延长使用寿命，减少颗粒影响
高效操作
简易安装，减少维护工作量，缩短停工时间
石墨
Other parts
Other Parts
SIC
石英
6“~12” Disk，Edge ring，base ring，tube，quartz ring 等备件
陶瓷
O-ring
材质分类：全氟化橡胶(FFKM)、氟素橡胶（FKM）、硅橡胶(SIL)、氟硅橡胶（FSI）等
门板
复合材料密封件
6”~12”，PEEK、垫片、复合材料、金属制品、硅等各类备件
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