多功能定制
适用于各种布局（2~10个负载端口）
200/300mm晶圆分拣机功能
根据客户要求定制软件和功能
快速交货
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售后服务快速响应
本地技术和服务团队快速响应
HHWS-2LP1T-11
HHWS-2LP-12W
HHWS-3LP-11
HHWS-8LP
HHWS-2LP1T-11
产品图片
分拣机图纸
左视图
右视图
俯视图
主视图
规格
| 清洁度 | Class 1 | ||
| 机器人 | 型号 | Hirata AR-Wn180CL-4-T-330-2-x424 | |
| 重复性 | ±0.1mm | ||
| 调整器 | 型号 | Hirata KWA-12-E-A064 | |
| 校准时间 | 小于3.5秒 | ||
| 加工精度 | X轴/Y轴 | ±0.05 mm | |
| W轴 | ±0.03度 | ||
| 装载端口 | Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R（旋转） | ||
| 翻转 | HHTV | ||
| 可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器 | ||
| 直通 | 280WPH(带OCR) | ||
| 重量 | 650 公斤 | ||
HHWS-2LP-12W
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规格
| 清洁度 | Class 1 | ||
| 机器人 | 型号 | Hirata AR-Wn180CL-4-T-330-2-x424 | |
| 重复性 | ±0.1mm | ||
| 调整器 | 型号 | Hirata KWA-12-E-A064 | |
| 校准时间 | 小于3.5秒 | ||
| 加工精度 | X轴/Y轴 | ±0.05 mm | |
| W轴 | ±0.03 度 | ||
| 装载端口 | Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R(旋转) | ||
| 翻转 | HHTV | ||
| 可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器 | ||
| 直通 | 280WPH(带OCR) | ||
| 重量 | 650公斤 | ||
HHWS-3LP-11
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分拣机图纸
左视图
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主视图
规格
| 清洁度 | Class 1 | ||
| 机器人 | 型号 | Yaskawa G124V | |
| 重复性 | ±0.1mm | ||
| 调整器 | 型号 | TAZMO MAF-AAPN | |
| 校准时间 | 小于4.5秒 | ||
| 加工精度 | XY方向（居中） | ±0.1 mm或更小 | |
| T方向（缺口） | ±0.03 度 | ||
| 装载端口 | TDK：TAS-300 TYPE-J1 | ||
| 可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器 | ||
| 直通 | 300WPH(带OCR) | ||
| 900WPH(不带调整器) | |||
| 重量 | 600公斤 | ||
HHWS-8LP
产品图片
分拣机图纸
左视图
右视图
俯视图
主视图
规格
| 清洁度 | Class 1 | ||
| 机器人 | 型号 | Yaskawa G124E | |
| 重复性 | ±0.1mm | ||
| 调整器 | 型号 | Yaskawa PER1130 | |
| 校准时间 | 小于5秒 | ||
| 加工精度 | XY方向 | ±0.1 mm或更小 | |
| T方向 | ±0.01 度或更小 | ||
| 装载端口 | TDK：TAS-300 J1 | ||
| 可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口 | ||
| 直通 | 300WPH(带OCR) | ||
| 重量 | 960公斤 | ||