泓浒半导体是一家专业从事半导体晶圆传输自动化设备研发和制造,致力于晶圆传输设备及核心零部件国产化的国家高新技术企业。公司主要产品包括设备前端模块(EFEM)、晶圆传片机(Sorter)、真空传输平台(VTM)、半导体核心精密传输部件等。泓浒半导体立足于自主研发,晶/圆传输设备在半导体设备前、中、后道工艺均有产品使用。
泓浒自研VTM设备
2023/05/23
泓浒半导体是一家专业从事半导体晶圆传输自动化设备研发和制造,致力于晶圆传输设备及核心零部件国产化的国家高新技术企业。公司主要产品包括设备前端模块(EFEM)、晶圆传片机(Sorter)、真空传输平台(VTM)、半导体核心精密传输部件等。泓浒半导体立足于自主研发,晶/圆传输设备在半导体设备前、中、后道工艺均有产品使用。
泓浒自研VTM设备