技术优势
高真空度、低漏率、高安全性
严谨完整的槽阀/工艺模块/机器人
硬件互锁设计
通过Semi S2安全认证
规格参数对标国际一线品牌
多功能定制
支持100/150/200/300mm晶圆传送功能
根据客户要求定制软件和功能
售后服务
本地技术和服务团队快速响应
VTM300-HH600
VTM300-HH600
产品图片
真空传输模块VTM 图纸
左视图
右视图
俯视图
主视图
规格
| 基本信息 | 电源 | AC 220V 50Hz 1500W | |
| CDA | 0.3-0.7MPa | ||
| 传送平面 | 1100mm | ||
| 晶圆尺寸 | 300mm 200mm 150mm 100mm | ||
| 清洁度 | Class 1 | ||
| 真空度 | 5 x 10(−8) Torr | ||
| 渗漏率 | <1 x 10(−9)std.cc/秒 He | ||
| 机器人 | 模型 | HHVRD32 | |
| 活动范围 | R轴 | 1050mm | |
| Z轴 | 50mm 100mm 150mm | ||
| 最高传输速度 | 1000mm/秒 | ||
| 重复性 | R轴、Z轴 | ± 0.05mm | |
| T轴 | 0.005° | ||
| VPA | 校准精度 | 旋转对齐重复性 | 0.3° (3σ) |
| 定心重复性 | 0.05mm | ||
| 初始捕获范围 | +3.99mm | ||
| 校准周期 | 3.5-4.7秒 | ||
| VCE | 主要特性 | 叠片或斜板的检测 | |
| 磁带映射周期 | 20秒 | ||